国产古装妇女野外a片,色一情一乱一伦一区二区三区日本,国产不卡一区二区,久久精品国产亚洲av久

咨詢熱線
18518707030
ARTICLE/ 技術(shù)文章
首頁(yè)  >  技術(shù)文章  >  AMC空氣分析適用于苛刻的半導(dǎo)體微量氣體應(yīng)用

AMC空氣分析適用于苛刻的半導(dǎo)體微量氣體應(yīng)用

更新時(shí)間:2022-10-19瀏覽:1089次
  對(duì)多種氣體的快速監(jiān)測(cè)、報(bào)警、極低濃度的測(cè)量、寬廣的測(cè)量區(qū)域、高靈敏的響應(yīng)是半導(dǎo)體工業(yè)的要求之一。深紫外光刻工藝特別關(guān)注氨、胺、N-甲基吡咯烷酮NMP、酸等的濃度測(cè)量。當(dāng)這些氣體與化學(xué)放大的光刻膠發(fā)生反應(yīng)時(shí),半導(dǎo)體器件的質(zhì)量將受到深刻影響。傳統(tǒng)和古老的方法大多采用間接測(cè)量和分析方法。這些方法包括沖擊過(guò)濾法、離子色譜法和化學(xué)熒光法,這些方法分析速度太慢,操作太復(fù)雜,價(jià)格昂貴,測(cè)量結(jié)果不準(zhǔn)確。
  
  AMC空氣分析證明,深紫外光刻工藝深受多種微污染物的影響,對(duì)許多微污染物特別敏感,如氨氣或酸性氣體,會(huì)對(duì)半導(dǎo)體生產(chǎn)帶來(lái)危害。雖然隨著深紫外耐腐蝕材料技術(shù)的發(fā)展,長(zhǎng)期連續(xù)的實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)已經(jīng)減少,事實(shí)上,空氣分子污染物(AMC)的實(shí)時(shí)測(cè)量對(duì)產(chǎn)品的質(zhì)量非常重要。
 
  

AMC空氣分析
 

 

  AMC空氣分析監(jiān)測(cè)還集成了一個(gè)多點(diǎn)監(jiān)測(cè)系統(tǒng),可以將氣體依次抽到分析儀或傳感器上,并讀出測(cè)量結(jié)果。嵌入式報(bào)警、報(bào)告和分析軟件由在半導(dǎo)體行業(yè)有多年經(jīng)驗(yàn)的工程師集體開(kāi)發(fā)。模擬模塊可以輸出4-6臺(tái)分析儀或傳感器的數(shù)據(jù)。每臺(tái)分析儀都配備了一臺(tái)內(nèi)置計(jì)算機(jī),可以存儲(chǔ)和輸出數(shù)據(jù)。它還支持遠(yuǎn)程網(wǎng)絡(luò)控制,遠(yuǎn)程操作可以實(shí)現(xiàn)多層次的管理權(quán)限控制和操作。
  
  AMC空氣分析儀基于CEAS(腔體增強(qiáng)吸收光譜)技術(shù),儀器使用簡(jiǎn)單,操作方便。所有部件(包括內(nèi)置真空泵、鍵盤(pán)、鼠標(biāo)、顯示器等)在幾分鐘內(nèi)就可以開(kāi)始記錄數(shù)據(jù)。其他大氣中的水蒸氣、CO2、O2、甲烷等不會(huì)對(duì)HCL、HF、NH3等造成交叉干擾。內(nèi)置計(jì)算機(jī)可將大量數(shù)據(jù)存儲(chǔ)到內(nèi)置硬盤(pán),通過(guò)數(shù)字接口或模擬接口傳輸數(shù)據(jù),通過(guò)互聯(lián)網(wǎng)遠(yuǎn)程存儲(chǔ)或記錄數(shù)據(jù),高質(zhì)量的數(shù)據(jù)庫(kù)適用于苛刻的半導(dǎo)體微量氣體應(yīng)用。
国精品无码人妻一区二区三区| 国产jjizz女人多水免费| 丰满人妻被黑人猛烈进入| 久久精品欧美av无码四区| 高h粗口调教羞辱sm文女王| 久久精品99国产国产精| 邪恶工番口番大全邪恶帝| 中国china露脸自拍性hd| 国产娇小粉嫩学生免费网站| 亚洲精品无码永久在线观看| 自己撅起来乖乖挨c烂h| 黑帮大佬和我的365日| 成年免费视频黄网站在线观看| 人禽伦免费交视频播放| 欧美三级a做爰在线观看| 野花社区www日本| 美女班主任露出奶头喂我乳我| 精品人妻少妇嫩草av无码专区| 女沟厕偷窥piss小便| 国产麻豆精东果冻乌鸦传媒| 欧美无人区码suv| 无码人妻精品一区二区三区在线| 玩弄人妻少妇500系列| 欧美黑人又大又粗xxxxx| 无码国产一区二区三区四区公司| 99热久久精里都是精品6| 免费午夜爽爽爽www视频十八禁| 无套内谢的新婚少妇国语播放| 巨粗进入警花哭喊求饶| 肉色超薄丝袜脚交一区二区| 国产熟妇另类久久久久| 国产suv精二区69| 中文字幕人成乱码| 善良的嫂子完整版在线观看| 日本肥熟妇搡bbbb搡bbbb| 最近2019年中文字幕二页| 天天躁日日躁狠狠躁av中文| 国产精品久久久久无码av色戒| 熟妇人妻av无码一区二区三区| 欧美性xxxxx极品娇小| 日本yokogawa|