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CF4氣體分析儀的技術(shù)特點(diǎn)

更新時(shí)間:2024-11-28瀏覽:100次
CF4氣體分析儀是一種專門用于檢測(cè)和分析四氟化碳(CF4)氣體的設(shè)備。以下是關(guān)于CF4氣體分析儀的詳細(xì)介紹:
 
一、主要功能
 
CF4氣體分析儀能夠?qū)崟r(shí)、準(zhǔn)確地測(cè)量環(huán)境中CF4氣體的濃度。它廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造、環(huán)境監(jiān)測(cè)、工業(yè)安全等領(lǐng)域,對(duì)于確保生產(chǎn)過程的穩(wěn)定性、保護(hù)環(huán)境和保障人員安全具有重要意義。
 
二、工作原理
 
CF4氣體分析儀主要基于光聲光譜技術(shù)進(jìn)行檢測(cè)。該技術(shù)利用量子級(jí)聯(lián)激光(QCL)光源發(fā)出特定波長(zhǎng)的紅外光,照射到含有CF4氣體的樣品池中。CF4氣體吸收光能后會(huì)產(chǎn)生聲信號(hào),該聲信號(hào)被超靈敏懸臂梁光學(xué)麥克風(fēng)技術(shù)捕捉并轉(zhuǎn)化為電信號(hào)。通過測(cè)量電信號(hào)的大小,可以計(jì)算出CF4氣體的濃度。
 
三、技術(shù)特點(diǎn)
 
高靈敏度:CF4氣體分析儀能夠探測(cè)到極低濃度的CF4氣體,檢測(cè)下限通常低于0.1ppb(partsperbillion,十億分之一)。
 
高穩(wěn)定性:由于采用了先進(jìn)的光聲光譜技術(shù)和超靈敏懸臂梁光學(xué)麥克風(fēng)技術(shù),CF4氣體分析儀具有高穩(wěn)定性,校準(zhǔn)周期長(zhǎng)達(dá)幾個(gè)月甚至幾年。
 
快速響應(yīng):CF4氣體分析儀的響應(yīng)時(shí)間通常很短,可以根據(jù)需要設(shè)置從幾秒到幾分鐘不等,以便及時(shí)捕捉到CF4氣體濃度的突然變化。
 
無耗材:CF4氣體分析儀在檢測(cè)過程中不需要消耗品或濕化學(xué)試劑,降低了運(yùn)行成本。
 
易于操作:CF4氣體分析儀通常配備有直觀的用戶界面和顯示屏,可以數(shù)字式或圖線式顯示檢測(cè)結(jié)果,方便用戶進(jìn)行監(jiān)測(cè)和分析。
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